本文摘要：OFwee传感器网讯：《固态电路杂志》近日公开发表了南京理工大学苏岩团队关于微电子机械系统（MEMS）的研究成果。

OFwee传感器网讯：《固态电路杂志》近日公开发表了南京理工大学苏岩团队关于微电子机械系统（MEMS）的研究成果。该成果大大提高传感器的稳定性（精度），其性能超过国际未知最低水平。　　惯性传感器是检测和测量加速度、弯曲、冲击、振动、转动和多维度（DoF）运动的传感器。

使用MEMS工艺生产的惯性传感器一般来说只有几毫米甚至更加小；而专用集成电路（ASIC）则可以将成千上万的晶体管电路构建于一块芯片，某种程度具备尺寸小的特点。两者都可大批量生产，成本极低。

　　因此，专用集成电路技术和MEMS技术将很大地减少惯性传感器的成本、体积和功耗，使得该类型传感器可普遍应用于消费电子类产品中。此外使用高性能ASIC后，还可减少环境因素及宿主参数对传感器性能的影响，大幅度提高MEMS惯性传感器的精度，使该类型传感器可以在高精度导航系统制导领域获得应用于。谐振式MEMS加速度计则构建了机械脆弱结构与ASIC的接入，该传感器构建了大于1微克的零稍不稳定性，为已报导的最低性能。

　　该传感器限于于船舶、潜艇等高精度导航系统中，也可应用于无人机导航系统、可穿着个人室内导航系统设备以及汽车平稳系统、安全气囊、游戏手柄、智能手机中。

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